單刀頭環(huán)線反切截?cái)鄼C(jī) QDHA35100
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、領(lǐng)先理念,通過伺服上料臺(tái)對(duì)接工件,實(shí)現(xiàn)反切工序自動(dòng)化
2、高效穩(wěn)定,可選雙線雙伺服張力配置,實(shí)現(xiàn)樣片一次性切割
3、算法更新,優(yōu)化張力控制、進(jìn)給工藝,提高成品質(zhì)量
KX380PV
最大可兼容至40吋熱。愀笸讀狹浚蠊娓窬О艫納ば棖,預(yù)留多種可升級(jí)?,技術(shù)升級(jí)性價(jià)比高。
KX380PV-MCZ
滿足低氧拉晶需求,更高少子壽命,多配置選裝提供更多機(jī)型選擇空間。
KX420PV
最大可兼容至42吋熱。愀笸讀狹,更大規(guī)格晶棒的生長(zhǎng)需求,預(yù)留多種可升級(jí)?,技術(shù)升級(jí)性價(jià)比高。
KX460PV
最大可兼容至42吋熱。愀笸讀狹,更大規(guī)格晶棒的生長(zhǎng)需求,預(yù)留多種可升級(jí)?,技術(shù)升級(jí)性價(jià)比高。
濕法制絨設(shè)備
產(chǎn)品功能
1.去除切割損傷層和表面臟污
2.使用強(qiáng)堿腐蝕晶體硅表面形成規(guī)則金字塔狀絨面,增加硅片對(duì)太陽光的吸收,降低反射率
3.增加硅片表面積,進(jìn)而PN結(jié)面積也響應(yīng)增加
濕法刻蝕設(shè)備
產(chǎn)品功能
去除背面PSG和拋光處理。
濕法制絨設(shè)備
產(chǎn)品功能
1.使用強(qiáng)堿腐蝕在硅片背面拋光形成近似鏡面的絨面結(jié)構(gòu),提高硅片對(duì)長(zhǎng)波的吸收
2.增加背鈍化膜的膜厚均勻性
3.降低了背面的表面積,提升了少子壽命,降低背面復(fù)合速率
RCA槽式清洗設(shè)備
產(chǎn)品功能
1.去除PSG
2.去除多晶硅沉積的正面(LPCVD)PECVD繞鍍層,去除表面剩余的BSG
濕法制絨設(shè)備
產(chǎn)品功能
1.去除切割損傷層和表面臟污
2.使用強(qiáng)堿腐蝕晶體硅表面形成規(guī)則金字塔狀絨面,增加硅片對(duì)太陽光的吸收,降低反射率
3.增加硅片表面積,進(jìn)而PN結(jié)面積也響應(yīng)增加
背拋清洗設(shè)備
產(chǎn)品功能
硅片拋光處理。
制絨清洗設(shè)備
產(chǎn)品功能
硅片正面絨面產(chǎn)生,背面區(qū)域打開。
全自動(dòng)脫膠機(jī)
產(chǎn)品功能
對(duì)切片后的硅片進(jìn)行脫膠
全自動(dòng)插片清洗一體機(jī)
配備吸水板、花籃定位、慢提拉、烘干槽等專利技術(shù),高效分片,降低碎片率。
采用日本基恩士總線通訊系統(tǒng),絕對(duì)值總線伺服,可快速抓取處理生產(chǎn)數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)智能監(jiān)控。
兼容各種規(guī)格的硅片尺寸,各尺寸切換時(shí)間不超過4小時(shí)。
全自動(dòng)脫插片清洗一體機(jī)
整刀送料、不間斷連續(xù)發(fā)片、插片的功能以提高產(chǎn)能;另外通過機(jī)構(gòu)的改進(jìn),實(shí)現(xiàn)滿籃換藍(lán)時(shí)間的極小化,從而使整機(jī)的插片產(chǎn)能釋放至最優(yōu)。
硅片脫膠、插片一體化和自動(dòng)化,減少周轉(zhuǎn)環(huán)節(jié);上料全自動(dòng)化、一人多機(jī)節(jié)省人工。
通過統(tǒng)一自動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)脫膠和插片真正一體化。
方棒微波加熱自動(dòng)線
設(shè)備說明
應(yīng)用于硅棒粘膠工段
微波連續(xù)加熱方式將硅棒快速加熱至指定溫度區(qū)間
效率高、安全性高
雙刀頭截?cái)鄼C(jī) QDHZ35850
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、獨(dú)創(chuàng)模式,實(shí)現(xiàn)截?cái)喙ば蝾^尾、樣片自動(dòng)化
2、高速高效,一次切割完成全部工序,單產(chǎn)≥6GW
3、自動(dòng)調(diào)心,結(jié)合多重輔助支撐,提高表面垂直度,降低崩邊
雙工位截?cái)鄼C(jī) QDHS35850
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、創(chuàng)新理念,單刀雙工位,隨切隨下料,提高自動(dòng)化周轉(zhuǎn)率
2、前置檢測(cè),提高定長(zhǎng)段比率,實(shí)現(xiàn)單產(chǎn)≥3GW
3、后端送料,配備高精度檢測(cè)機(jī)構(gòu),定長(zhǎng)誤差≤0.2mm
四環(huán)線開方機(jī) QHFA2395
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、產(chǎn)能優(yōu)先,可實(shí)現(xiàn)1GW/1臺(tái)超高產(chǎn)能
2、配備回轉(zhuǎn)交換工作臺(tái),輔助時(shí)間≤30s
3、四環(huán)線同時(shí)切割,配合張力控制算法,極差≤0.15mm
磨倒一體機(jī) LT-GMS2510
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、自動(dòng)上料定心,智能定位工件,提高異常棒兼容性
2、自動(dòng)檢測(cè)余量,智能匹配切深,提高加工效率≤30s
3、自動(dòng)檢測(cè)刀耗,智能補(bǔ)給損耗,提高成品精度
4、自動(dòng)五維可糾偏上料臺(tái),可滿足最小單邊0.1mm余量磨削
切片機(jī) QP950
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、水平&豎直軸距最小且均可調(diào)
2、最多19檔可。傻髦峋嚳段310-410mm
3、全規(guī)格兼容半片、整片、矩形片
4、單機(jī)可滿足前/中/后端自動(dòng)化上下料
半片切片機(jī) QP1200
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、水平&豎直軸距最小且均可調(diào)
2、半片專機(jī)或定制全規(guī)格兼容最多19檔可。傻髦峋嚳段310-410mm
3、最大可切割1200mm棒長(zhǎng)
4、單機(jī)可滿足前/中/后端自動(dòng)化上下料
半棒開磨一體機(jī) MB1000
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、全自動(dòng)一體設(shè)備,單工位剖方+雙工位磨面+四工位磨棱,全面提高加工效率
2、上料長(zhǎng)寬高全檢測(cè),開方定位準(zhǔn),環(huán)線+伺服張力模式,提高極差,降低硅損
3、采用粗精嵌套式電主軸,配合檢測(cè)及補(bǔ)償系統(tǒng),保證成品尺寸精度
4、單機(jī)產(chǎn)能高,通過此方案兼容半棒加工,投資更低 產(chǎn)出更高