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碳化硅切片機(jī)

該產(chǎn)品是一款使用金剛線切割半導(dǎo)體碳化硅晶片的專用加工設(shè)備，可加工晶棒直徑兼容6英寸、8英寸，最大加工長(zhǎng)度300mm。

一體鑄造穩(wěn)定定位準(zhǔn)確

該產(chǎn)品是一款使用金剛線切割半導(dǎo)體碳化硅晶片的專用加工設(shè)備，可加工晶棒直徑兼容6英寸、8英寸，最大加工長(zhǎng)度300mm。

產(chǎn)品特點(diǎn)

損料小質(zhì)量好

具有損料小、加工質(zhì)量好、切割效率高、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。

一體鑄造穩(wěn)定

機(jī)床底座、主軸箱之座、垂直進(jìn)給立柱、進(jìn)給滑臺(tái)均為一體鑄造結(jié)構(gòu)，采用高精度機(jī)床加工，設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。

進(jìn)口軸承高精度

主軸采用進(jìn)口NSK軸承，軸箱結(jié)構(gòu)自主研發(fā)、裝配，精度高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

西門子系統(tǒng)穩(wěn)定

采用進(jìn)口德國(guó)西門子運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)及電機(jī)，保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。

擺動(dòng)切削均勻

夾具采用可擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，保證加工時(shí)工件進(jìn)行擺動(dòng)式切削，切削受力均勻。

獨(dú)立冷卻防結(jié)露

主軸冷卻采用獨(dú)立水箱，實(shí)現(xiàn)大流量控制方式，解決軸箱內(nèi)部結(jié)露問(wèn)題。

自動(dòng)化操作便捷

自動(dòng)化配套設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)單機(jī)一鍵提料、一鍵自動(dòng)對(duì)刀等功能。

指標(biāo)控制優(yōu)良

TTV、WARP、BOW、表面線痕、崩邊、斷線率等指標(biāo)控制優(yōu)良。

定位準(zhǔn)確

晶托采用專利T形槽定位，保證加工晶向的準(zhǔn)確性。

軟件控制精準(zhǔn)

自主研發(fā)的專利軟件控制系統(tǒng)，張力控制精準(zhǔn)。